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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。
三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。
在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。
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孙光远是浙江余杭和睦乡梧桐村(今余杭区闲林街道万景村)人。1916年考入南京高等师范学校。曾任南京高师数学研究会总干事。1920年南高毕业后留校任助教,同时从事微分几何、数理逻辑研究。1924年和陈雯美结婚。1925年春,入美国芝加哥大学研究生院攻读微分几何,1927年以毕业论文《曲面对的射影微分几何学》获博士学位。
1928年回国,任北京清华大学数学系教授,期间招收中国第一名数学研究生陈省身。回国后,经常在国内外数学杂志发表学术论文,为当时中国国内唯一从事研究的数学家。1933年到国立中央大学数学系任教,曾任数学系主任、理学院院长;1949年中央大学更名为南京大学后,仍任数学系主任、理学院院长。与孙叔平合著的《微积分学》在中国数学发展史上占有重要地位。
1979年5月1日,孙光远在南京逝世,终年79岁。
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箱根登山铁道3100型电联车则为两节编组的电联车,由2017年5月开始运行。
3000型、3100型皆称为“ Allegra”。3000型共有两辆车,总价约为8亿日元。
3100型仅有一组,以两辆编组,可与3000型连结运转,组成三节车厢的列车。
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