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抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
在抛光工艺过程中,磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污,清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质,使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。
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素棱郭勒河,又作素林郭勒河,位于中华人民共和国青海省海西蒙古族藏族自治州都兰县北部及乌兰县西南部一条内陆河,上游称沙柳河,发源于都兰县东北部鄂拉山西段北坡,蜿蜒向西北,在草库伦村附近折向西流,称为都兰县与乌兰县之间的界河,此段称查查河,过都兰县夏日哈镇查查村后进入乌兰县西南部地区,不久消失于新月形沙丘之中。河水潜行约17千米,于乌兰县阿拉尔滩金子海附近以泉水形式出露后始称“素棱郭勒河”,蜿蜒向西,流经都兰县西北部地区,最后汇入北霍鲁逊湖。河长约380千米,流域面积13500平方千米。
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洪觐光Hong洪,字共父,号俨咫,福建省泉州府同安县人,明朝官员。
刑部左侍郎洪朝选之侄。由监生中式丁酉(1597年)福建乡试五十二名举人,万历三十八年(1610年)庚戌科会试二百八十三名,第三甲第九十四名进士。兵部观政,授直隶常州府武进县,卒。
曾祖洪蕤宾,赠通议大夫刑部左侍郎;祖洪溱,累封通议大夫刑部左侍郎;父洪朝冕,太学生;母叶氏。永感下。兄德仁;洪邦光(戊辰进士、四川按察使);洪忱(监生);洪兢(官生、贵阳府通判);洪澄源(丙戌进士、云南左布政);梚文(庠生);明况(庠生);洪启哲(举人);廷元(庠生)。弟士英(中书舍人)、洪纪、洪赓源、洪范(庠生)、洪际元(武举)、洪章紽、洪邦秩(庠生);洪充(庠生)、洪纨、洪尧、洪观光(监生)、洪篪荣。子尔著(庠生);朱祚(监生);朱祉;朱禄;朱祜;朱𥜥;朱礼;朱祊。
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