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金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别，采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。
磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物，研磨材料主要是石英，二氧化铝和氧化铈，其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择，这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应，弱化其和硅分子联结，这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
抛光垫通常使用聚亚胺脂（Polyurethane）材料制造，又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫，利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性，表面有特殊之沟槽，提高抛光的均匀性，垫上有时开有可视窗，便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材，一个抛光垫虽不与晶圆直接接触，但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下，目前主要生产厂商为陶氏化学集团（DOW CHEMICALS）及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
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《外科医生奉达熙》（외과의사 봉달희）是韩国SBS于2007年1月17日起播放的水木迷你连续剧，以医院为背景，讲述医生之间的竞争和他们当中的爱情故事。
从小就体弱多病的奉达熙(李枖原 饰)厌恶病痛，所以想成为医生。但因为在实习医生第一年就做心脏手术，而不得不放弃实习，回到家乡的诊所当健康检查医生，某天被征召到首尔医院的外科实习，为了通过实习，达熙比任何人都勤奋，但还是大小失误不断。在经历无数挫折之后，同事终于消除了对她的误解与怀疑，她开始被大家喜欢。就在此时，各方面都精通的名医安中根(李凡秀 饰)与医院的"皇太子"李健旭(金敏俊 饰)同时爱上了达熙，两位医生与奉达熙之间也慢慢发展出爱情。
达熙每天紧张的生活，她的心脏病再次复发，但她继续坚持实习。某一天，在第一次动手术的过程中，差点发生医疗过失让病人送命，当她就此决定要放弃医生之路时，在外科的名医指责和指导下，之后反成为优秀外科医生的故事。
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