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更新于 2026-10-20

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重氮萘醌(diazonaphthoquinone)是萘醌的重氮衍生物。 一旦曝光,它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮。在半导体行业中,各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光剂。

在半导体制造的过程中,重氮萘醌的磺酸酯通常会用作光刻胶材料中的正性感光剂。在这种应用中,重氮萘醌会与酚醛树脂混合,以作为溶解抑制剂。在曝光的过程中,部分光刻胶膜会暴露在光线下,而其他部分则不会。在未曝光的区域里,含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然会不溶于水基显影液中。 而在曝光的区域里,重氮萘醌会形成烯酮,由此再与环境中的水形成可溶于碱的茚并羧酸。光刻胶膜中已曝光的区域因而可溶于碱性溶剂,从而将光刻胶层中的图形显现出来。

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张国锐,字贞子,号钟石,直隶顺天府锦衣卫官籍,明朝政治人物。

癸卯顺天府乡试十二名举人,万历三十八年庚戌科会试二百九十名,第二甲第二十名进士。户部观政,丁忧,四十一年授户部广东司主事,本科,四十五年升贵州司员外,本年升山东司郎中,四十七年升河南彰德府知府。天启元年(1621年)十月升山东按察司副使、分守海右道,转陕西布政使司参政,六年二月升陕西按察使,十二月升陕西右布政使,不久调任山西。

曾祖张玺,锦衣卫千户;祖父张文惠;父张邦垣;母刁氏(封宜人)。慈侍下。兄国锦(文林郎通政司经历)。子其湛;其澄;其清。

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