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重氮萘醌(diazonaphthoquinone)是萘醌的重氮衍生物。 一旦曝光,它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮。在半导体行业中,各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光剂。
在半导体制造的过程中,重氮萘醌的磺酸酯通常会用作光刻胶材料中的正性感光剂。在这种应用中,重氮萘醌会与酚醛树脂混合,以作为溶解抑制剂。在曝光的过程中,部分光刻胶膜会暴露在光线下,而其他部分则不会。在未曝光的区域里,含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然会不溶于水基显影液中。 而在曝光的区域里,重氮萘醌会形成烯酮,由此再与环境中的水形成可溶于碱的茚并羧酸。光刻胶膜中已曝光的区域因而可溶于碱性溶剂,从而将光刻胶层中的图形显现出来。
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* 毛秋白/选译,《德意志短篇小说集》,上海:商务印书馆,1935年。该书收录海塞的〈俏皮姑娘〉。
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