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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
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布施锡兰山佛寺碑是郑和第二次下西洋,即永乐七年(1409年)布施锡兰山当地佛寺所立的一块三语石碑。
1911年,该碑为英国工程师托马林(H. F. Tomalin)在斯里兰卡南部港口加勒(Galle)发现,现收藏于斯里兰卡可伦坡国家博物馆。碑文由三种文字,中文、泰米尔文和波斯文写就。其中泰米尔文和波斯文风化严重,难以辨认,中文部分大体可识。该碑制作考究,推测为在郑和出发前于南京刻制完好后携带至斯里兰卡安置。
明朝《殊域周咨录》记载,永乐七年,中使郑和偕行人泛海至其国。赍金银供器、彩妆织金宝幡,布施于其寺。永乐十四年,锡兰王遣使偕占城、爪哇诸国贡马及犀象方物。中官郑和等赍敕及锦绮纱罗彩绢等物,往赐各国王。
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蛹宽约20~23毫米,长约43~45毫米。初期呈浅黄色,之后逐渐变深,羽化前为黄褐色。
* 指名亚种 Propomacrus davidi davidi:主要分布于江西
* 福建亚种 Propomacrus davidi fujianensis:分布于福建,体型较小,底色为红褐色,鞘翅黑色中缝较粗
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