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更新于 2026-10-20

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金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别,采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。

磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物,研磨材料主要是石英,二氧化铝和氧化铈,其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择,这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应,弱化其和硅分子联结,这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。

抛光垫通常使用聚亚胺脂(Polyurethane)材料制造,又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫,利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性,表面有特殊之沟槽,提高抛光的均匀性,垫上有时开有可视窗,便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材,一个抛光垫虽不与晶圆直接接触,但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下,目前主要生产厂商为陶氏化学集团(DOW CHEMICALS)及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。

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阿亨王宫(Aachener Königspfalz;Palace of Aachen)是查理大帝选择的作为加洛林帝国权力中心的一组具有住宅、政治和宗教用途的建筑。这座宫殿位于现在的德国北莱茵-威斯特法伦州阿亨市北部。阿亨王宫的大部分建于790年代,但工程一直持续到814年查理大帝去世。由梅斯的奥多绘制的设计图是后续的统治者决定的王宫翻新计划的一部分。阿亨王宫的大部分到今天都被不存在了,但王宫教堂被保存下来,它被认为是加洛林建筑的杰作和加洛林文艺复兴时期建筑的典型例子。

分类:8世纪完工建筑物分类:加洛林建筑分类:加洛林文艺复兴分类:德国地标分类:阿亨历史分类:神圣罗马帝国宫殿

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草房站是一个位于中国北京市朝阳区常营地区草房村朝阳北路、草房西路交叉口,属于北京地铁6号线的地铁车站。于2011年8月封顶。于2012年12月30日投入使用。

2022年5月4日,因疫情影响,草房站暂时封闭,列车通过不停车,至5月29日恢复运营。

草房站位于东五环外,朝阳北路(西南-东北向)和草房西路(西北-东南向)交汇处,呈西南-东北走向。草房村则源于明代通州西北的御马草料场。

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