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* 1972年，师资训练班开设两年制专科，中文、数学、物理、化学、外语等五个专科对外招生。
* 1977年，在原师训班基础上建立起来的湖南师范学院黔阳分院正式成立。
* 1978年，黔阳师范专科学校正式恢复
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磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物，研磨材料主要是石英，二氧化铝和氧化铈，其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择，这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应，弱化其和硅分子联结，这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
抛光垫通常使用聚亚胺脂（Polyurethane）材料制造，又称聚氨酯抛光垫、抛光阻尼布、氧化铈抛光垫，利用这种多孔性材料类似海绵的机械特性和多孔特性，表面有特殊之沟槽，提高抛光的均匀性，垫上有时开有可视窗，便于线上检测。通常抛光垫为需要定时整修和更换之耗材，一个抛光垫虽不与晶圆直接接触，但使用寿命约仅为45至75小时。在全球不断并购下，目前主要生产厂商为陶氏化学集团（DOW CHEMICALS）及中国龙头合肥宏光研磨科技生产。
CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处（见上图），但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单，而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上，被称作终点检测，通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
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主机埠介面（Host Port Interface）是美国德州仪器（TI）公司提供数字信号处理器（DSP）的沟通介面。
HPI有HPI-8和HPI-16两种，分别针对8位元与16位元的资料作传输。HPI-8和HPI-16传输方式又分为「标准型」和「增强型」。
HPI的资料传输依功能可分为2部分：外部传输和内部传输。所谓的外部传输是指主机和HPI暂存器之间的传输。至于内部传输是指HPI暂存器和DSP内部的RAM传输。
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