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本节讨论通常用于集成电路的CVD工艺。不同的材料会应用于不同的环境。
多晶硅是从硅烷(SiH4)沉积所得到的。使用以下反应:
这种反应通常使用低压化学气相沉积系统(LPCVD),使用单纯的硅烷或用70-80%的氮硅烷作为原料。在温度在600°C至650°C之间,压力为25~150帕斯卡的条件下,沉积速度在每分钟10至20纳米之间。另一种工艺使用氢为还原剂。氢气会降低增长速度,所以温度提高到850甚至1050℃进行补偿。
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王子服,字子由。又名王服(《后汉书》和《资治通鉴》中)或李服(《后出师表》中),东汉末期的越骑校尉、偏将军。建安五年,王子服与董承、长水校尉种辑、议郎吴硕受汉献帝的衣带诏,共谋除去当时胁天子以令天下的曹操,但计划泄露,为曹操所斩除。
在《三国演义》中,王子服的官职为工部侍郎。
* 董承:“昔吕不韦之门,须子楚而后高,今吾与由是也。”
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