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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。
三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。
在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。
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亚历山大·根里霍维奇·别利亚夫斯基(Alexander Genrikhovich Beliavsky,12月17日),国际象棋棋手,特级大师。
别利亚夫斯基出生于苏联利沃夫(现位于乌克兰),苏联解体后为乌克兰棋手。1994年起,他赴斯洛文尼亚居住,并效力于斯洛文尼亚奥林匹克队。他是1973年国际象棋世界青年冠军,并于1974年、1980年、1987年、1990年四度获得苏联国际象棋冠军。其最高等级分则为1997年创下的2710分。
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往东北方由台东市中心出发,沿著台11线下中华大桥后,再前行约2.5公里即可抵达富冈渔港。
搭乘台东往花莲、静浦、成功的鼎东客运或花莲客运,于富冈站下车。
* 台11线:由渔港西南方通往渔港北方。
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