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CMP设备与晶圆生产中的抛光设备有相似之处(见上图),但集成电路硅片中很多材料的加入以及金属层的增加使得CMP设备不能如同抛光设备那样简单,而需要加入特别的过程获得平坦化的效果。这主要体现在对抛光厚度、抛光速率的检测上,被称作终点检测,通常有电机电流终点检测、光学终点检测。
在抛光工艺过程中,磨料和被抛光对象都会造成硅片的沾污,清洗的主要目的就是为了清除这些沾污物质,使硅片的质量不致受到影响。所采用到的清洗设备有毛刷洗擦设备、酸性喷淋清洗设备、超声波清洗设备、旋转清洗干燥设备等。清洗步骤主要有氧化硅清洗、浅沟槽隔离清洗、多晶硅清洗、钨清洗、铜清洗等。
* 生产中间步骤中氧化层和金属间电介层的平面化
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廖烈科早年就读圣保罗书院小学、岭英中学及同济中学关于廖烈科就读学校的资料出自1994年由卢子健和何安达所著的《香港人名录》(天地图书出版)第536页。,其后入读广东省立文理学院。
1961年6月发生「廖宝珊事件」,父亲廖宝珊受谣言所害,廖创兴银行发生挤提,大受刺激致脑溢血不治。廖烈科联同兄长廖烈文、弟弟廖烈武临危受命,带领廖创兴银行安然度过危机。
廖烈科是廖宝珊家族成员中唯一踏足政坛,他于1982年获委任为中西区区议员。1985年立法局选举时当选为立法局议员(选举团-(港岛西))。1988年香港立法局选举时连任失败。1997年12月当选为港区九届全国人大代表。1998年1月在泰国布吉旅游期间,因病逝世,享年67岁。而他的遗孀李赛琴女士已于2019年6月14日在玛丽医院逝世,享年87岁。
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拉斯维加斯特朗普国际酒店(Trump Hotel Las Vegas)是一座位于美国内华达州天堂的64层高档酒店、分契式公寓。该酒店位于拉斯维加斯大道不远处的Fashion Show Drive,其名称是取自著名房地产开发商唐纳德·川普。其金色的外表来自于酒店外层窗户上镀的24克拉金。
它是拉斯维加斯谷最高的酒店。 2012年9月,川普集团宣布将其中的300套分契式公寓以分时度假的方式售予希尔顿酒店集团,成为希尔顿度假村酒店。
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